无锡索奥精细阀门：国产半导体阀门达世界水平打破90%进口依靠

  在无锡经开区企业无锡索奥精细阀门有限公司的产线测验区，一排排银色的半导体真空阀门正在进行出厂测验。多轮压力测验后，屏幕上的数值仍然在设定的0.1%差错范围内安稳动摇，标志着其中心方针到达世界产品水平，该范畴国产设备初次具有与欧美世界巨子同台竞技的才能。

  近来，索奥自主研制的半导体APC摆阀完结技能攻关，继其蝶阀产品之后，慎重进入设备厂商的验证流程。这两款具有高精度主动控压才能的半导体设备中心部件，填补了国内高端主动控压真空阀范畴的技能空白，为半导体工业链国产化注入了新动能。

  真空阀门被称为半导体设备的“压力守门人”，在半导体制程的刻蚀和堆积工艺中，由真空阀操控的压力安稳性、精度等直接决议着晶圆的良品率，其重要性显而易见。企业首席技能官李秉根介绍，真空阀的研制和出产难度较高，需求长期的职业经历和资源堆集，国产设备起步较晚，90%的真空阀门都要依靠欧美进口，不光价格昂扬，交期更是长达半年。跟着国内需求的持续增长和外部制裁的日益加剧，国产代替的需求益发显得急迫和激烈。

  索奥科技成立于2024年11月，主要是做半导体范畴中心配备与零部件的研制、出产及出售，其呼应国家半导体工业链自主化战略，活跃投身国内真空阀门等范畴。在历经从零起步的产品研制，以及多轮协作伙伴的替换探究后，索奥挑选“弯道超车”与具有十余年经历的韩国Ronda、Novasen公司展开深度协作。依托韩方在APC阀门范畴的技能堆集，以及我国团队的本土化运营经历，索奥对标世界一流产品，敏捷完结了半导体级蝶阀、摆阀等真空阀门的研制与国产化代替，改变了国内半导体该范畴产品很多依靠进口的局势。

  “软件逻辑是产品中心。”公司运营副总褚倩介绍，阀门能够根据真空腔体内压力的改变自主学习、实时精准调节阀门开合视点，并将控压精度安稳在0.1%的世界水平。“咱们的方针是真空阀全线产品的国产化。”褚倩说，企业已成立了国内产品研制中心，并组成本土化研制团队。未来一切机械设计部分都将由我国团队完结，软件部分则由中韩研制团队协同进行，在推动本土化的一起，保证中心技能竞争力持续提高。

  现在，企业研制投入占比超30%，已取得国家高新技能企业、无锡市雏鹰企业、江苏省民营科技公司、创新式中小企业、科技型中小企业等荣誉，累计取得专利30项，要点协作客户包含拓荆科技、微导纳米、先导科技、北方华创等多家半导体或光伏设备厂家。

  值得一提的是，经开的工业生态为企业技能打破助力。经过经开区举行的半导体工业沙龙，企业对接上了在同一工业园区的电机供货商无锡奕帆。据介绍，现在奕帆的电机已经过送样验证，未来可能会批量应用于索奥阀门产品上，上下游协同的形式在经开“生态圈”内即可完结。

  褚倩表明，依托区域工业生态和政策，企业正加快工业化进程，现在已与多家本地工业链企业树立开始协作。未来，索奥将持续深耕真空阀门范畴，在为半导体工业国产化供给助力的一起，助推区域工业链上下游更好协同开展，构成更强工业高质量开展合力。